先进的多光束可调节系统
高分辨率探测器
采用XYZ三维运动样品台
大型样品分析室
CCD摄像及自动定位系统
自动调节双层六通道滤光系统
项目
指标
稳定性
<3％< p="">
重复性
<5％< p="">
激发功率
50W
探测器分辨率
149eV
X射线辐射剂量
<1μSv/h
代表元素检出限（ppm，塑料基体）
Cr：5、Br：2 .5、Cd：4、Hg：4、Pb：5
代表元素检出限（ppm，铝基体）
Cr：8、Mn：3.5、Sr：3、Sn：6、Pb：4
